Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку...

by Рубцевич, И.И., Соловьев, Я.А., Высоцкий, В.Б., Дудкин, А.И., Ковальчук, Н.С.
Published 2011