Showing 1 - 3 results of 3 for search 'Наливайко, О.Ю.', query time: 0.01s Refine Results
  1. 1
    Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
    Get full text
    Article
    Save to List
    Saved in:
  2. 2
    Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
    Get full text
    Article
    Save to List
    Saved in:
  3. 3
    Кинетика процессов осаждения пленок поликремния, легированного кислородом в процессе роста
    Get full text
    Article
    Save to List
    Saved in:
Search Tools: RSS Feed – Email Search