Механические характеристики, структура и напряженное состояние вакуумно-дуговых TiN-покрытий, осажденных при подаче на подложку высоковольтных импульсов в процессе осаждения...

by Соболь, О.В., Андреев, А.А., Григорьев, С.Н., Горбань, В.Ф., Волосова, М.А., Алешин, С.В., Столбовой, В.А.
Published 2011