Open Science Harvester of NAS of Ukraine

Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния

by Куликовский, В.Ю., Ворличек, В., Богач, П., Страйнянек, М., Чтвертлик, Р., Курдюмов, А.В., Горбань, В.Ф.
Published 2008