Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния von Куликовский, В.Ю., Ворличек, В., Богач, П., Страйнянек, М., Чтвертлик, Р., Курдюмов, А.В., Горбань, В.Ф.

Volltext