Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники

von Борисенко, А.Г.
Veröffentlicht 2013

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления

von Болтовец, Н.С., Борисенко, А.Г., Иванов, В.Н., Федорович, О.А., Кривуца, В.А., Полозов Б.П.
Veröffentlicht 2009

Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия

von Борисенко, А.Г., Полозов, Б.П., Федорович, О.А., Болтовец, Н.С., Иванов, В.Н., Свешников, Ю.Н.
Veröffentlicht 2005