Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл

за авторством Буранич, В.В., Шелест, И.В., Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Гончарова, С.А.
Опубліковано 2018

Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах...

за авторством Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Зыков, А.В., Фареник, В.И., Шелест, И.В., Буранич, В.В.
Опубліковано 2017