Математическая модель влияния поля индуктора на коэффициент распределения примеси в кремнии von Егоров, С.Г., Червоный, И.Ф., Воляр, Р.Н.

Volltext

Распределение кислорода в монокристаллах кремния и его влияние на время жизни неравновесных носителей заряда... von Червоный, И.Ф., Швец, Е.Я., Воляр, Р.Н., Голев, А.С.

Volltext