Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл

за авторством Буранич, В.В., Шелест, И.В., Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Гончарова, С.А.
Опубліковано 2018

Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений

за авторством Агулов, А.В., Гончаров, А.А., Бажин, А.И., Васильева, Л.В., Гончарова, С.А., Ступак, В.А.
Опубліковано 2014