Синтез стехиометрических пленок бинарных соединений реактивным магнетронным напылением и управление режимом напыления... von Евсюков, А.Н., Завьялов, Ю.Г., Стеценко, Б.В., Щуренко, А.И.

Volltext

Элементарная плазмооптическая ячейка в режиме прямого магнетрона von Гончаров, А.А., Добровольский, А.Н., Евсюков, А.Н., Проценко, И.М.

Volltext

Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа von Гончаров, А.А., Добровольский, А.Н., Евсюков, А.Н., Проценко, И.М., Литовко, И.В.

Volltext