Синтез стехиометрических пленок бинарных соединений реактивным магнетронным напылением и управление режимом напыления...

von Евсюков, А.Н., Завьялов, Ю.Г., Стеценко, Б.В., Щуренко, А.И.
Veröffentlicht 2008

Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа

von Гончаров, А.А., Добровольский, А.Н., Евсюков, А.Н., Проценко, И.М., Литовко, И.В.
Veröffentlicht 2008