Синтез стехиометрических пленок бинарных соединений реактивным магнетронным напылением и управление режимом напыления...

by Евсюков, А.Н., Завьялов, Ю.Г., Стеценко, Б.В., Щуренко, А.И.
Published 2008

Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа

by Гончаров, А.А., Добровольский, А.Н., Евсюков, А.Н., Проценко, И.М., Литовко, И.В.
Published 2008