Способ создания микролинз диаметром менее 50 нм для нанолитографии методами атомной проекционной оптики...

by Кузин, А.А., Заблоцкий, А.В., Батурин, А.С., Лапшин, Д.А., Мелентьев, П.Н., Балыкин, В.И.
Published 2009