Резистивные элементы, полученные на анодном оксиде алюминия имплантацией ионов Ti и Мо за авторством Литвинович, Г.В., Сокол, В.А., Углов, В.В., Занг, И.З., Абрамов, И.И., Данилюк, А.Л.

Отримати повний текст