Стимулирование зарождения алмаза на подложках кремния со слоем полимерного прекурсора при осаждении алмазных пленок в СВЧ-плазме...

by Седов, В.С., Ральченко, В.Г., Хомич, А.А., Сизов, А.И., Звукова, Т.М., Конов, В.И.
Published 2012