Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией

von Дудин, С.В., Рафальский, Д.В., Зыков, А.В.
Veröffentlicht 2010

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления

von Зыков, А.В., Дудин, С.В., Яковин, С.Д.
Veröffentlicht 2015

Проблема выбора лучшего технического решения для обеспечения вакуум-выпарной установки подводом тепла...

von Смирнов, Г.Ф., Зыков, А.В., Резниченко, Д.Н.
Veröffentlicht 2016

Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах...

von Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Зыков, А.В., Фареник, В.И., Шелест, И.В., Буранич, В.В.
Veröffentlicht 2017