Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления von Зыков, А.В., Дудин, С.В., Яковин, С.Д.

Volltext

Проблема выбора лучшего технического решения для обеспечения вакуум-выпарной установки подводом тепла... von Смирнов, Г.Ф., Зыков, А.В., Резниченко, Д.Н.

Volltext

Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией von Дудин, С.В., Рафальский, Д.В., Зыков, А.В.

Volltext

Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах... von Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Зыков, А.В., Фареник, В.И., Шелест, И.В., Буранич, В.В.

Volltext