Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления за авторством Зыков, А.В., Дудин, С.В., Яковин, С.Д.

Отримати повний текст

Проблема выбора лучшего технического решения для обеспечения вакуум-выпарной установки подводом тепла... за авторством Смирнов, Г.Ф., Зыков, А.В., Резниченко, Д.Н.

Отримати повний текст

Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией за авторством Дудин, С.В., Рафальский, Д.В., Зыков, А.В.

Отримати повний текст

Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах... за авторством Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Зыков, А.В., Фареник, В.И., Шелест, И.В., Буранич, В.В.

Отримати повний текст