Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией

by Дудин, С.В., Рафальский, Д.В., Зыков, А.В.
Published 2010

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления

by Зыков, А.В., Дудин, С.В., Яковин, С.Д.
Published 2015

Проблема выбора лучшего технического решения для обеспечения вакуум-выпарной установки подводом тепла...

by Смирнов, Г.Ф., Зыков, А.В., Резниченко, Д.Н.
Published 2016

Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах...

by Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Зыков, А.В., Фареник, В.И., Шелест, И.В., Буранич, В.В.
Published 2017