Влияние потенциала смещения на подложке на структурные и механические свойства пленок a-SiC:H

von Иващенко, В.И., Порада, О.К., Иващенко, Л.А., Дуб, С.Н., Тимофеева, И.И., Гришнова, Л.А.
Veröffentlicht 2010

Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана...

von Порада, А.К., Иващенко, В.И., Иващенко, Л.А., Дуб, С.Н., Мороженко, В.О, Тимофеева, И.И., Косско, И.А.
Veröffentlicht 2010

Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана...

von Порада, А.К., Иващенко, В.И., Иващенко, Л.А., Дуб, С.Н., Мороженко, В.О, Тимофеева, И.И., Косско, И.А.
Veröffentlicht 2010