Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода

by Изотов, А.И., Кильман, Г.В., Сироткин, В.В., Шалаев, Р.В., Прудников, А.М.
Published in Физика и техника высоких давлений (2017)