Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття von Порада, О.К., Козак, А.О., Іващенко, В.І., Дуб, С.М., Толмачева, Г.М.

Volltext

Плазмохімічне устаткування для осадження нанокомпозитних наношаруватих плівок von Порада, О.К., Іващенко, В.І., Іващенко, Л.А., Козак, А.О., Ситіков, О.О.

Volltext

Електричні та фотоелектричні властивості гетеропереходів a-SiCN/c-Si von Сукач, А.В., Тетьоркін, В.В., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Козак, А.О., Ткачук, А.І., Ворощенко, А.Т.

Volltext

Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням... von Козак, А.О., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Іващенко, Л.А., Синельниченко, О.К., Дуб, С.М., Литвин, О.С., Тимофєєва, І.І., Толмачева, Г.М.

Volltext