Розробка технології виготовлення сенсорних чипів з підвищеною чутливістю та покращеними фізико-механічними характеристиками для оптичних сенсорів на основі поверхневого плазмонного...

by Данько, В.А., Індутний, І.З., Ушенін, Ю.В., Литвин, П.М., Минько, В.І., Шепелявий, П.Є., Луканюк, М.В., Корчовий, А.А., Христосенко, Р.В.
Published 2017