Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления

von Лисовский, В.А.
Veröffentlicht 2006

Модифицированный закон Пашена для зажигания разряда постоянного тока

von Лисовский, В.А., Коваль, В.А.
Veröffentlicht 2008

Экспериментальное исследование затрудненного тлеющего разряда постоянного тока в азоте

von Лисовский, В.А., Кравченко, Е.А., Скубенко, Е.В.
Veröffentlicht 2010

Плазменная очистка технологических камер в высокочастотном емкостном разряде

von Лисовский, В., Бут, Ж.П., Ландри, K., Дуэ, Д., Касань, В.
Veröffentlicht 2004

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников...

von Дудин, С.В., Лисовский, В.А., Дахов, А.Н., Плетнёв, В.М.
Veröffentlicht 2011

Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках...

von Лисовский, В., Бут, Ж.П., Ландри, K., Дуэ, Д., Ренар, Г., Касань, В.
Veröffentlicht 2005