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Экспериментальная установка для получения кластерных пучков
von
Батурин, В.А.
,
Карпенко, А.Ю.
,
Литвинов, П.А.
,
Пустовойтов, С.А.
Veröffentlicht 2006
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Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
von
Батурин, В.А.
,
Еремин, С.А.
,
Пустовойтов, С.А.
,
Литвинов, П.А.
,
Карпенко, А.Ю.
,
Мирошниченко, В.И.
Veröffentlicht 2015
Volltext
Artikel
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