Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния...

за авторством Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И.
Опубліковано 2008

Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

за авторством Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И., Пономарь, В.Н., Шикуло, В.Е.
Опубліковано 2003