Наноструктурные сверхтвёрдые nc-TiN/а-Si₃N₄ покрытия, полученные методом вакуумно-дугового осаждения...

by Кунченко, В.В., Кунченко, Ю.В., Картмазов, Г.Н., Неклюдов, И.М., Мигаль, А.А., Романов, А.А., Гладких, Н.Т., Крышталь, А.П., Казаринов, Ю.Г.
Published 2006