Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se

by Индутный, И.З., Крючин, А.А., Бородин, Ю.А., Данько, В.А., Луканюк, М.В., Минько, В.И., Шепелявый, П.Е., Гера, Э.В., Рубиш, В.М.
Published 2013