Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс”

von Савицкий, Г.В., Бончик, А.Ю., Ижнин, И.И., Кияк, С.Г., Могиляк, И.А., Тростинский, И.П.
Veröffentlicht 2002

Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс”

von Савицкий, Г.В., Бончик, А.Ю., Ижнин, И.И., Кияк, С.Г., Могиляк, И.А., Тростинский, И.П.
Veröffentlicht 2002