Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники...

за авторством Филатов, Ю.Д., Сидорко, В.И., Ковалев, С.В., Филатов, А.Ю., Монтей, Г.
Опубліковано 2017

Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники...

за авторством Филатов, Ю.Д., Сидорко, В.И., Ковалев, С.В., Филатов, А.Ю., Монтей, Г.
Опубліковано 2017

Влияние рассеяния частиц износа инструмента в контактной зоне на формирование микропрофиля обработанной поверхности при полировании кварца...

за авторством Филатов, Ю.Д., Филатов, А.Ю., Сирота, О.О., Ящук, В.П., Монтей, Г., Хайзель, У., Сторчак, М.
Опубліковано 2010

Влияние рассеяния частиц износа инструмента в контактной зоне на формирование микропрофиля обработанной поверхности при полировании кварца...

за авторством Филатов, Ю.Д., Филатов, А.Ю., Сирота, О.О., Ящук, В.П., Монтей, Г., Хайзель, У., Сторчак, М.
Опубліковано 2010