Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов

за авторством Батурин, В.А., Карпенко, А.Ю., Кирик, Г.В., Мирошниченко, В.И., Нагорный, А.Г., Еремин, С.А., Пустовойтов, С.А., Нагорный, В.А.
Опубліковано 2012