Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N

за авторством Дуб, С.Н., Гончаров, А.А., Петухов, В.В.
Опубліковано 2009

Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов

за авторством Гончаров, А.А., Дуб, С.Н., Агулов, А.В., Петухов, В.В.
Опубліковано 2015

Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок...

за авторством Петухов, В.В., Гончаров, А.А., Коновалов, В.А., Терпий, Д.Н., Ступак, В.А.
Опубліковано 2005