Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N

за авторством Дуб, С.Н., Гончаров, А.А., Петухов, В.В.
Опубліковано 2009

Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N

за авторством Дуб, С.Н., Гончаров, А.А., Петухов, В.В.
Опубліковано 2009

Структура, состав и механические свойства тонких пленок диборидов переходных металлов

за авторством Гончаров, А.А., Дуб, С.Н., Агулов, А.В., Петухов, В.В.
Опубліковано 2015

Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок...

за авторством Петухов, В.В., Гончаров, А.А., Коновалов, В.А., Терпий, Д.Н., Ступак, В.А.
Опубліковано 2005

Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок...

за авторством Петухов, В.В., Гончаров, А.А., Коновалов, В.А., Терпий, Д.Н., Ступак, В.А.
Опубліковано 2005

Влияние режимов распыления и геометрии распылительной системы на толщину и состав получаемых пленок...

за авторством Петухов, В.В., Гончаров, А.А., Коновалов, В.А., Терпий, Д.Н., Ступак, В.А.
Опубліковано 2005