Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей...

von Федорович, О.А., Кругленко, М.П., Полозов, Б.П.
Veröffentlicht 2009

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок...

von Гладковский, В.В., Костин, Е.Г., Полозов, Б.П., Федорович, О.А., Петряков, В.А.
Veröffentlicht 2014

Формирование мезаструктур 4НSiC p–i–n-диодов методом ионно-плазменного травления

von Болтовец, Н.С., Борисенко, А.Г., Иванов, В.Н., Федорович, О.А., Кривуца, В.А., Полозов Б.П.
Veröffentlicht 2009

Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия

von Борисенко, А.Г., Полозов, Б.П., Федорович, О.А., Болтовец, Н.С., Иванов, В.Н., Свешников, Ю.Н.
Veröffentlicht 2005

Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками

von Максименко, Л.С., Мищук, О.Н., Матяш, И.Е., Сердега, Б.К., Костин, Е.Г., Полозов, Б.П., Федорович, О.А., Савинков, Г.К.
Veröffentlicht 2013