Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана... von Порада, А.К., Иващенко, В.И., Иващенко, Л.А., Дуб, С.Н., Мороженко, В.О, Тимофеева, И.И., Косско, И.А.

Volltext