Вплив умов осадження і відпалу на нанотвердість аморфних Si–C–N-плівок

by Порада, О.К.
Published 2015

Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття

by Порада, О.К., Козак, А.О., Іващенко, В.І., Дуб, С.М., Толмачева, Г.М.
Published 2016

Плазмохімічне устаткування для осадження нанокомпозитних наношаруватих плівок

by Порада, О.К., Іващенко, В.І., Іващенко, Л.А., Козак, А.О., Ситіков, О.О.
Published 2019

Порівняльні дослідження плазмохемічних плівок SіCN, одержаних із різних прекурсорів

by Іващенко, Л.А., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Карпець, М.В., Бутенко, О.О., Закієв, І.М.
Published 2009

Влияние потенциала смещения на подложке на структурные и механические свойства пленок a-SiC:H

by Иващенко, В.И., Порада, О.К., Иващенко, Л.А., Дуб, С.Н., Тимофеева, И.И., Гришнова, Л.А.
Published 2010

Електричні та фотоелектричні властивості гетеропереходів a-SiCN/c-Si

by Сукач, А.В., Тетьоркін, В.В., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Козак, А.О., Ткачук, А.І., Ворощенко, А.Т.
Published 2013

Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням...

by Козак, А.О., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Іващенко, Л.А., Синельниченко, О.К., Дуб, С.М., Литвин, О.С., Тимофєєва, І.І., Толмачева, Г.М.
Published 2015