Вплив умов осадження і відпалу на нанотвердість аморфних Si–C–N-плівок by Порада, О.К.

Get full text

Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття by Порада, О.К., Козак, А.О., Іващенко, В.І., Дуб, С.М., Толмачева, Г.М.

Get full text

Плазмохімічне устаткування для осадження нанокомпозитних наношаруватих плівок by Порада, О.К., Іващенко, В.І., Іващенко, Л.А., Козак, А.О., Ситіков, О.О.

Get full text

Влияние потенциала смещения на подложке на структурные и механические свойства пленок a-SiC:H by Иващенко, В.И., Порада, О.К., Иващенко, Л.А., Дуб, С.Н., Тимофеева, И.И., Гришнова, Л.А.

Get full text

Порівняльні дослідження плазмохемічних плівок SіCN, одержаних із різних прекурсорів by Іващенко, Л.А., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Карпець, М.В., Бутенко, О.О., Закієв, І.М.

Get full text

Електричні та фотоелектричні властивості гетеропереходів a-SiCN/c-Si by Сукач, А.В., Тетьоркін, В.В., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Козак, А.О., Ткачук, А.І., Ворощенко, А.Т.

Get full text

Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням... by Козак, А.О., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Іващенко, Л.А., Синельниченко, О.К., Дуб, С.М., Литвин, О.С., Тимофєєва, І.І., Толмачева, Г.М.

Get full text