Вплив умов осадження і відпалу на нанотвердість аморфних Si–C–N-плівок за авторством Порада, О.К.

Отримати повний текст

Тверді плазмохімічні a-SiCN-покриття за авторством Порада, О.К., Козак, А.О., Іващенко, В.І., Дуб, С.М., Толмачева, Г.М.

Отримати повний текст

Плазмохімічне устаткування для осадження нанокомпозитних наношаруватих плівок за авторством Порада, О.К., Іващенко, В.І., Іващенко, Л.А., Козак, А.О., Ситіков, О.О.

Отримати повний текст

Влияние потенциала смещения на подложке на структурные и механические свойства пленок a-SiC:H за авторством Иващенко, В.И., Порада, О.К., Иващенко, Л.А., Дуб, С.Н., Тимофеева, И.И., Гришнова, Л.А.

Отримати повний текст

Порівняльні дослідження плазмохемічних плівок SіCN, одержаних із різних прекурсорів за авторством Іващенко, Л.А., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Карпець, М.В., Бутенко, О.О., Закієв, І.М.

Отримати повний текст

Електричні та фотоелектричні властивості гетеропереходів a-SiCN/c-Si за авторством Сукач, А.В., Тетьоркін, В.В., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Козак, А.О., Ткачук, А.І., Ворощенко, А.Т.

Отримати повний текст

Вплив потоку азоту на властивості тонких аморфних Si–C–N-плівок, отриманих магнетронним розпиленням... за авторством Козак, А.О., Іващенко, В.І., Порада, О.К., Іващенко, Л.А., Синельниченко, О.К., Дуб, С.М., Литвин, О.С., Тимофєєва, І.І., Толмачева, Г.М.

Отримати повний текст