Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц...

by Першин, Ю.П., Севрюкова, В.А., Зубарев, Е.Н., Оберемок, А.С., Мельник, В.П., Романюк, Б.Н., Попов, В.Г., Литвин, П.М.
Published 2013