НАНОТЕХНОЛОГІЯ ОДНОСТАДІЙНОГО ЛОКАЛІЗОВАНОГО ІОННО-ПЛАЗМОВОГО ДИСПЕРГУВАННЯ В ВАКУУМІ

by Ткач, В. М., Садохін, В. В., Соколюк, Д. В., Садохін, В. П., Фефілатьєв, М. В.
Published 2018