Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия

за авторством Борисенко, А.Г., Полозов, Б.П., Федорович, О.А., Болтовец, Н.С., Иванов, В.Н., Свешников, Ю.Н.
Опубліковано 2005