Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках

by Косско, И.А., Крючин, А.А., Панкратова, А.В., Коржинский, Ф.И., Середа, Л.Д., Середа, И.В.
Published 2006

Создание Т-образного затвора в малошумящих полевых СВЧ-транзисторах

by Босый, В.И., Коржинский, Ф.И., Семашко, Е.М., Середа, И.В., Середа, Л.Д., Ткаченко, В.В.
Published 2006