Технологический источник плазмы с комбинированной системой возбуждения вакуумно-дугового разряда... von Сысоев, Ю.А.

Volltext

Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий von Сысоев, Ю.А.

Volltext

Генератор газовых смесей для ионно-плазменных технологий von Сысоев, Ю.А., Сердюк, И.В., Доломанов, А.В., Ковтеба, Д.В.

Volltext