Применение метода спектральной интерферометрии для измерения микро- и нанорасстояний

von Лукин, К.А., Мачехин, Ю.П., Данаилов, М.Б., Татьянко, Д.Н.
Veröffentlicht 2011

Измерение толщин оптически прозрачных слоистых структур методом спектральной интерферометрии

von Лукин, К.А., Татьянко, Д.Н., Пих, А.Б., Земляный, О.В.
Veröffentlicht 2017

Оптический рефлектометр на основе метода спектральной интерферометрии

von Лукин, К.А., Татьянко, Д.Н., Шиян, Ю.А., Юрченко, Л.В., Базакуца, А.В.
Veröffentlicht 2015