Особенности роста пленок нитрида углерода в присутствии травящих компонент в ростовой атмосфере

by Шалаев, Р.В., Прудников, А.М., Варюхин, В.Н., Турка, В.Н., Яковец, А.А., Жихарев, И.В., Беляев, Б.В., Грицких, В.А.
Published 2006