Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур...

von Фареник, В.И.
Veröffentlicht 2004

Получение и транспортировка ионных пучков малых и средних энергий

von Фареник, В.И.
Veröffentlicht 2005

Диодные реакторные системы микротравления

von Фареник, В.И.
Veröffentlicht 2002

Rotating plasma

von Фареник, В.И.
Veröffentlicht 2016

Плазменный феномен физтеха

von Фареник, В.И.
Veröffentlicht 2017

Развитие плазменных методов синтеза фуллеренов

von Удовицкий, В.Г., Кропотов, А.Ю., Фареник, В.И.
Veröffentlicht 2012

Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления

von Будянский, А.М., Фареник, В.И., Яцков, А.П.
Veröffentlicht 2001

Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов

von Дудин, С.В., Яцков, А.П., Фареник, В.И.
Veröffentlicht 2002

Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик

von Возный, А.В., Ям, Дж.Ю., Кропотов, А.Ю., Фареник, В.И.
Veröffentlicht 2006

Сравнительный анализ различных источников плазмы для целей реактивного нанесения покрытий и диффузионного насыщения металлов...

von Сагалович, А.В., Сагалович, В.В., Дудин, С.В., Фареник, В.И.
Veröffentlicht 2014

Обучение и подготовка кадров в области нанотехнологий и использование при этом научного наследия

von Азаренков, Н.А., Орлов, В.Д., Слипченко, Н.И., Удовицкий, В.Г., Фареник, В.И.
Veröffentlicht 2009

Учебно-научные комплексы в области высоких технологий

von Азаренков, Н.А., Зыкова, А.В., Клепиков, В.Ф., Лапшин, В.И., Фареник, В.И.
Veröffentlicht 2003

Нанокристаллические и нанокомпозитные покрытия, структура, свойства

von Береснев, В.М., Погребняк, А.Д., Азаренков, Н.А., Фареник, В.И., Кирик, Г.В.
Veröffentlicht 2007

Нанонауки и нанотехнологии: современные достижения, перспективы, проблемы и задачи развития

von Азаренков, Н.А., Орлов, В.Д., Слипченко, Н.И., Удовицкий, В.Г., Фареник, В.И.
Veröffentlicht 2005

Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования

von Дудник, С.Ф., Залюбовский, И.И., Сагалович, А.В., Сагалович, В.В., Фареник, В.И.
Veröffentlicht 2001

Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах...

von Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Зыков, А.В., Фареник, В.И., Шелест, И.В., Буранич, В.В.
Veröffentlicht 2017