Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур...

за авторством Фареник, В.И.
Опубліковано 2004

Получение и транспортировка ионных пучков малых и средних энергий

за авторством Фареник, В.И.
Опубліковано 2005

Диодные реакторные системы микротравления

за авторством Фареник, В.И.
Опубліковано 2002

Rotating plasma

за авторством Фареник, В.И.
Опубліковано 2016

Плазменный феномен физтеха

за авторством Фареник, В.И.
Опубліковано 2017

Развитие плазменных методов синтеза фуллеренов

за авторством Удовицкий, В.Г., Кропотов, А.Ю., Фареник, В.И.
Опубліковано 2012

Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления

за авторством Будянский, А.М., Фареник, В.И., Яцков, А.П.
Опубліковано 2001

Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов

за авторством Дудин, С.В., Яцков, А.П., Фареник, В.И.
Опубліковано 2002

Формирование пучка нейтральных атомов для сухого травления и исследование его характеристик

за авторством Возный, А.В., Ям, Дж.Ю., Кропотов, А.Ю., Фареник, В.И.
Опубліковано 2006

Сравнительный анализ различных источников плазмы для целей реактивного нанесения покрытий и диффузионного насыщения металлов...

за авторством Сагалович, А.В., Сагалович, В.В., Дудин, С.В., Фареник, В.И.
Опубліковано 2014

Обучение и подготовка кадров в области нанотехнологий и использование при этом научного наследия

за авторством Азаренков, Н.А., Орлов, В.Д., Слипченко, Н.И., Удовицкий, В.Г., Фареник, В.И.
Опубліковано 2009

Учебно-научные комплексы в области высоких технологий

за авторством Азаренков, Н.А., Зыкова, А.В., Клепиков, В.Ф., Лапшин, В.И., Фареник, В.И.
Опубліковано 2003

Нанокристаллические и нанокомпозитные покрытия, структура, свойства

за авторством Береснев, В.М., Погребняк, А.Д., Азаренков, Н.А., Фареник, В.И., Кирик, Г.В.
Опубліковано 2007

Нанонауки и нанотехнологии: современные достижения, перспективы, проблемы и задачи развития

за авторством Азаренков, Н.А., Орлов, В.Д., Слипченко, Н.И., Удовицкий, В.Г., Фареник, В.И.
Опубліковано 2005

Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования

за авторством Дудник, С.Ф., Залюбовский, И.И., Сагалович, А.В., Сагалович, В.В., Фареник, В.И.
Опубліковано 2001

Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах...

за авторством Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Зыков, А.В., Фареник, В.И., Шелест, И.В., Буранич, В.В.
Опубліковано 2017