Повышение эффективности геликонного разряда в сходящемся магнитном поле за авторством Вирко, В.Ф., Шамрай, К.П., Кириченко, Г.С., Вирко, Ю.В.

Отримати повний текст

Геликонный разряд, возбуждаемый плоской антенной вдоль магнитного поля за авторством Слободян, В.М., Вирко, В.Ф., Кириченко, Г.С., Шамрай, К.П.

Отримати повний текст

Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок за авторством Руденко, Е.М., Короташ, І.В., Семенюк, В.Ф., Шамрай, К.П.

Отримати повний текст

Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики... за авторством Руденко, Е.М., Короташ, І.В., Семенюк, В.Ф., Шамрай, К.П.

Отримати повний текст