Повышение эффективности геликонного разряда в сходящемся магнитном поле von Вирко, В.Ф., Шамрай, К.П., Кириченко, Г.С., Вирко, Ю.В.

Volltext

Геликонный разряд, возбуждаемый плоской антенной вдоль магнитного поля von Слободян, В.М., Вирко, В.Ф., Кириченко, Г.С., Шамрай, К.П.

Volltext

Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок von Руденко, Е.М., Короташ, І.В., Семенюк, В.Ф., Шамрай, К.П.

Volltext

Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики... von Руденко, Е.М., Короташ, І.В., Семенюк, В.Ф., Шамрай, К.П.

Volltext