Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок

by Руденко, Е.М., Короташ, І.В., Семенюк, В.Ф., Шамрай, К.П.
Published 2009

Вакуумно-плазмовий модуль для формування структур елементної бази наноелектроніки та мікроенергетики...

by Руденко, Е.М., Короташ, І.В., Семенюк, В.Ф., Шамрай, К.П.
Published 2010

Повышение эффективности геликонного разряда в сходящемся магнитном поле

by Вирко, В.Ф., Шамрай, К.П., Кириченко, Г.С., Вирко, Ю.В.
Published 2003

Геликонный разряд, возбуждаемый плоской антенной вдоль магнитного поля

by Слободян, В.М., Вирко, В.Ф., Кириченко, Г.С., Шамрай, К.П.
Published 2003