Мировые тенденции развития микроэлектроники и место Республики Беларусь в этом процессе von Белоус, А.И., Пилипенко, В.А., Турцевич, А.С., Шведов, С.В.

Volltext

Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем von Пилипенко, В.А., Горушко, В.А., Петлицкий, А.Н., Понарядов, В.В., Турцевич, А.С., Шведов, С.В.

Volltext