Мировые тенденции развития микроэлектроники и место Республики Беларусь в этом процессе

by Белоус, А.И., Пилипенко, В.А., Турцевич, А.С., Шведов, С.В.
Published 2012

Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем

by Пилипенко, В.А., Горушко, В.А., Петлицкий, А.Н., Понарядов, В.В., Турцевич, А.С., Шведов, С.В.
Published 2013