Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл von Буранич, В.В., Шелест, И.В., Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Гончарова, С.А.

Volltext

Анализ условий синтеза сверхтвердых пленок диборида тантала в магнетронных распылительных системах... von Гончаров, А.А., Юнда, А.Н., Зыков, А.В., Фареник, В.И., Шелест, И.В., Буранич, В.В.

Volltext