Образование частиц шлама и износа полировального порошка при полировании нитрида алюминия

за авторством Филатов, Ю.Д., Сидорко, В.И., Ковалев, С.В., Ковалев, В.А., Юрчишин, О.Я.
Опубліковано 2017

Точность формообразования плоских поверхностей деталей оптики и микроэлектроники при полировании...

за авторством Филатов, Ю.Д., Сидорко, В.И., Ковалев, С.В., Ковалев, В.А., Юрчишин, О.Я., Ветров, А.Г.
Опубліковано 2016

Дослідження стану робочої поверхні інструменту при поліруванні підкладок з нітриду алюмінію

за авторством Філатов, Ю.Д., Сидорко, В.І., Ковальов, С.В., Ковальов, В.А., Юрчишин, О.Я., Данильченко, М.А., Вєтров, А.Г.
Опубліковано 2018