Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму by Зиков, О.В., Яковін, С.Д., Дудін, С.В.

Get full text

Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів by Яковін, С.Д., Зиков, О.В., Дудін, С.В., Фаренік, В.І., Юнаков, М.М.

Get full text

Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій... by Азарєнков, М.О., Дудін, С.В., Зиков, О.В., Фаренік, В.І., Яковін, С.Д.

Get full text