Open Science Harvester of NAS of Ukraine

Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления

by Будянский, А.М., Фареник, В.И., Яцков, А.П.
Published in Технология и конструирование в электронной аппаратуре (2001)

Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов

by Дудин, С.В., Яцков, А.П., Фареник, В.И.
Published in Технология и конструирование в электронной аппаратуре (2002)