Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов von Дудин, С.В., Яцков, А.П., Фареник, В.И.

Volltext

Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления von Будянский, А.М., Фареник, В.И., Яцков, А.П.

Volltext