Formation of flat surfaces of optoelectronic components in diamond polishing

за авторством Ju. D. Filatov, V. I. Sidorko, S. V. Kovalev, A. G. Vetrov
Опубліковано 2017

A mechanism of diamond-abrasive finishing of monocrystalline silicon carbide

за авторством Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov, V. I. Sidorko, Ju. Filatov, S. V. Kovalev
Опубліковано 2013

Polished surface roughness of optoelectronic components made of monocrystalline materials

за авторством Ju. Filatov, V. I. Sidorko, S. V. Kovalev, Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov
Опубліковано 2016

Efficiency of polishing of anisotropic single-crystal materials for optoelectronics

за авторством Ju. Filatov, V. I. Sidorko, S. V. Kovalev, Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov
Опубліковано 2016

Precision shaping flat surfaces details of optics and microelectronics when polishing

за авторством Ju. D. Filatov, V. I. Sidorko, S. V. Kovalev, V. A. Kovalev, Ja. Jurchishin, A. G. Vetrov
Опубліковано 2016

Polishing of opto-electronic equipment elements from single-crystal silicon carbide

за авторством Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov, V. I. Sidorko, Ju. Filatov, S. V. Kovalev, V. D. Kurilovich, M. A. Danilchenko, T. A. Prikhna, A. I. Borimskij, A. M. Kutsaj, V. G. Poltoratskij
Опубліковано 2015