Харвестер відкритої науки НАН України

Formation of flat surfaces of optoelectronic components in diamond polishing

von Ju. D. Filatov, V. I. Sidorko, S. V. Kovalev, A. G. Vetrov
Veröffentlicht 2017

Efficiency of polishing of anisotropic single-crystal materials for optoelectronics

von Ju. Filatov, V. I. Sidorko, S. V. Kovalev, Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov
Veröffentlicht 2016

Polished surface roughness of optoelectronic components made of monocrystalline materials

von Ju. Filatov, V. I. Sidorko, S. V. Kovalev, Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov
Veröffentlicht 2016

A mechanism of diamond-abrasive finishing of monocrystalline silicon carbide

von Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov, V. I. Sidorko, Ju. Filatov, S. V. Kovalev
Veröffentlicht 2013

Precision shaping flat surfaces details of optics and microelectronics when polishing

von Ju. D. Filatov, V. I. Sidorko, S. V. Kovalev, V. A. Kovalev, Ja. Jurchishin, A. G. Vetrov
Veröffentlicht 2016

Polishing of opto-electronic equipment elements from single-crystal silicon carbide

von Ju. D. Filatov, A. G. Vetrov, V. I. Sidorko, Ju. Filatov, S. V. Kovalev, V. D. Kurilovich, M. A. Danilchenko, T. A. Prikhna, A. I. Borimskij, A. M. Kutsaj, V. G. Poltoratskij
Veröffentlicht 2015